卡爪＆卡盘 机器人周边装置 ＞ 晶片・液晶卡爪
■固定搬送
■ウエハ表裏に対して非接触
■クリーン度クラス1対応
■WHA シリーズ
■固定搬送
■ウエハ表裏に対して非接触
■クリーン度クラス1対応
■WHF シリーズ
■吸着・エッジクランプ・おとしこみ各方式特殊対応実績豊富。
■ウエハご希望搬送枚数を一括搬送できるユニットを設計製作いたします。
ガラス基板・液晶パネル・太陽パネル・有機ELディスプレイ・自動車
用ガラスなどのガラス搬送用ハンドを特殊対応いたします。
ガラス基板・液晶パネル・太陽パネル・有機ELディスプレイ・自動車
用ガラスなどのガラス搬送用ハンドを特殊対応いたします。
■采用一体型直线导轨，确保高刚性、高精度及较长的使用寿命。
■可使用加长型卡爪。
■因采用薄型设计，开闭行程较长。
■因采用直线导轨，提高耐久性。
■根据规格要求，可随意进行调整。
■安装容易的正面贯穿孔。
■小型･軽量･コンパクト。
■パワフルな把持力。
■ロングストロークで大小のワークに対応。
■ラック式で、エアーリークをカット。
■ベーン式に対し、40％ サイズダウンで、徹底的に省スペース。
■同一面に「ストッパー」「配管」「センサ」が集合。
■取付が2方向から可能な通し穴。
■本体取付時の芯出しが容易な位置決め用ピン穴加工。
■位置確認リードスイッチの取付が可能。
■配線･配管固定用のレール溝付。
■前後ウレタンダンパーを標準装備。
