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電子カタログ
■固定搬送
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ ウエハ表裏に対して非接触
エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■ クリーン度クラス1対応
■WHA シリーズ
サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
| 型式 | ＷＨＡ-200ＡＳ | ＷＨＡ-300ＡＳ | ＷＨＡ-450ＡＳ | |
|---|---|---|---|---|
| 搬送ワーク | ウエハ | |||
| ワークサイズ | φ200 | φ300 | φ450 | |
| 搬送方式 | エッジクランプ | |||
| 搬送枚数 | １枚 | |||
| 駆動方式 | 閉方向 | スプリング（クランプ方式） | ||
| 開方向 | バーキューム圧－60KPa ～95KPa （負圧シリンダ採用） | |||
| 動作ストローク | 10 ㎜ （クランプ7㎜ クランプシロ3㎜） | |||
| 把持力 | ２ ．４Ｎ ～１．９Ｎ | 約７N | ||
| クリーン度 | FED 規格 クラス１ （吸引要） | |||
| フォーク材質 | ＣＦＲＰ | |||
| 駒・仮受け座・パット | ＰＥＥＫ | |||
| 本体重量 | 約0.4Kg | 約0.5Kg | 約1.7Kg | |
| オプション | 開閉確認センサー | |||
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| カタログ（仕様書・寸法図） | DXFデータ | STEP、IGESデータ | |
|---|---|---|---|
| WHA-200ＡＳ-1 |
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| WHA-300ＡＳ-1 |
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| WHA-450ＡＳ |
