●組み合わせスライド（2軸）
●限られたスペースで自在にレイアウト可能
●走行架台付ロボットシステム様々なパターンに
フレキシブルに対応。
●素早く正確なプロセスニーズ対応
●クリーンルーム内自動搬送システム
●大きな行動範囲で多目的な作業
●SMIF対応自動化システム
●プロセス給俳用ロボットシステム
●供給・排出及びカセット内の仕分け
(集合・分配)システム
●供給用ストッカーシステム
●プリントアライメント装置
●ステンレスシートと吸引ポートで
クリーンに対応
●単体での使用はもちろん、組み合わせに
より様々な用途にご利用いただけます
| ストローク | 200mm～1200mm |
| 定格速度 | ～1000mm/s |
| 定格出力 | 100w～400w |
| 定格推力 | 90N～360N |
| 可搬質量 | 水平15Kg～50Kg 垂直5Kg～19Kg |
