手及夹头机器人外围设备清单

WHA纸页型晶片卡爪 WHA系列

可根据用户的需求规格设计并定制，相关事项请另行咨询。因为是边缘夹具，不会与内外面接触。

■固定、搬运。

采用夹紧搬运方式，可适用于各种搬运形态。可有效地防止装置高速化导致的芯偏移现象。

■不会接触晶片内外面。

只接触边缘部分，不会担心以夹紧或吸附方式搬运时留下痕迹。

■适用于1级洁净室。

■WHA系列

只设侧臂的单侧驱动式边缘夹具。

WHF纸页型晶片卡爪 WHF系列

可根据用户的需求规格设计并定制，相关事项请另行咨询。因为是边缘夹具，不会与内外面接触。

■固定、搬运。

采用夹紧搬运方式，可适用于各种搬运形态。可有效地防止装置高速化导致的芯偏移现象。

■不会接触晶片内外面。

只接触边缘部分，不会担心以夹紧或吸附方式搬运时留下痕迹。

■适用于1级洁净室。

■WHF系列

设有侧臂和主叉的双侧（同步）驱动式边缘夹具。

无需洁净包装。

WHB钳型晶片卡爪 WHB系列

可根据用户的需求规格设计并定制，相关事项请另行咨询。一次性搬运25片。

■可采用吸盘、边缘夹具、吊具等各种搬运装置。

■可根据晶片的一次性搬运数量，设计并定制搬运装置。

事例・一次性搬运5片的搬运装置・一次性搬运25片的搬运装置

LCH玻璃面板搬运卡爪 LCH系列

可根据用户的需求规格设计并定制。

相关事项请另行咨询。

可另行配备可搬运玻璃基板、液晶面板、太阳能板、有机EL显示面板、汽车玻璃等特殊物料的卡爪。

WHK玻璃面板搬运卡爪 WHK系列

可根据用户的需求规格设计并定制。

相关事项请另行咨询。

可另行配备可搬运玻璃基板、液晶面板、太阳能板、有机EL显示面板、汽车玻璃等特殊物料的卡爪。

LHAC洁净系列 LHAC系列

应对装置高速化，具备高耐久性的卡爪。

应对装置高速化，具备高耐久性的卡爪。

■采用一体型直线导轨，确保高刚性、高精度及较长的使用寿命。

■可使用加长型卡爪。

主体材质    铝质

导轨材质    SUS440C或相等材质

螺栓类材质  SUS

如果在含氟润滑油特殊环境中使用，请另行咨询。

无需洁净包装。

HLCC洁净系列 HLCC系列

直线导轨采用薄型、长行程设计。

■因采用薄型设计，开闭行程较长。

薄型･高扭矩的双活塞方式。

■因采用直线导轨，提高耐久性。

直线导轨的导轨间距较长，使产品具备较高的刚性。

■根据规格要求，可随意进行调整。

根据规格需求，可以从4个尺寸种进行选择。

■安装容易的正面贯穿孔。

无需洁净包装。

HMFC洁净系列 HMFC系列

整体高度较低、兼容范围较广的蟹形平行卡爪。

■小型、轻量、紧凑。

通过降低整体高度，可有效地利用有限的空间；主体部分采用简单、紧凑的设计。

■超强抓力。

通过双活塞机构设计，使产品具备超强的抓力。

■因长行程设计，可适用于大小工件的加工。

卡爪的工作行程长，无需进行兼容调整。

无需洁净包装。

ZRBC清洁系列ZRBC系列

支架式超小型旋转激励器。

■因采用齿条式设计，可有效地避免漏气引发的运行不良现象。

■因采用了省空间设计，与叶片式相比，尺寸缩小了40%。

■阻挡器、管线、传感器均集中设置在同一面。

■可以双向安装的贯穿孔。

■安装主体部分时定心容易的定位用销孔加工。

ZCC清洁系列ZCC系列

采用2支导杆的气缸内置紧凑型滑台。

■可以安装位置确认弹簧开关。

采用负荷开关容量较大的带LED无触点开关方式；可安装在主体部分的上部和下部。

■设有电线、管道固定用轨道槽。

复杂的电线和管道均可以固定在轨道槽的任意位置。

■前后聚氨酯减震器属于标配。

可吸收前端和后端的撞击。