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■可采用吸盘、边缘夹具、吊具等各种搬运装置。
■可根据晶片的一次性搬运数量,设计并定制搬运装置。
事例・一次性搬运5片的搬运装置・一次性搬运25片的搬运装置
无需洁净包装。
型号 | WHB-300AS-25 | |
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搬运工件 | 晶片 | |
工件尺寸 | φ300//φ450 | |
搬运方式 | 3个类型(吊具・吸盘・边缘夹具) | |
搬运数量 | 2片~25片 | |
驱动方式 | 闭合方向 | ※关于特殊规格,请另行详细咨询。 |
开启方向 | ||
工作行程 | ||
抓力 | ||
洁净度 | ||
牙叉(fork)材质 | CERP | |
紧固件・挡片・垫板 | PEEK | |
主体质量 | 约19kg(参考φ300规格的一次性搬运25片的搬运装置) | |
选项 | 开闭确认传感器 |
目录(规格,尺寸) | DXF数据 | STEP,IGES数据 | |
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WHF-300AS |
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需要3D数据请向厂家咨询 | |
WHB-300AS-25 | 需要3D数据请向厂家咨询 | ||
WHB-450AS | 需要3D数据请向厂家咨询 |