手及夹头机器人外围设备清单

WHA

可根据用户的需求规格设计并定制，相关事项请另行咨询。因为是边缘夹具，不会与内外面接触。€‚

■固定、搬运。

采用夹紧搬运方式，可适用于各种搬运形态。可有效地防止装置高速化导致的芯偏移现象。

■不会接触晶片内外面。

只接触边缘部分，不会担心以夹紧或吸附方式搬运时留下痕迹。

■适用于1级洁净室。

■WHA系列

只设侧臂的单侧驱动式边缘夹具。